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中国电子行业超纯水国家标准
(GB/T11446.1-1997 )
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指
标
名
称 |
一
级
水（EW-1） |
二
级
水（EW-2） |
|
电阻率MΩ.CM. （25℃） |
18(95‰时间)不低于17 |
15(95‰时间)不低于13 |
|
硅 ≤μg/L |
2 |
10 |
|
微粒数 ＞1μm |
0.1 |
5 |
|
细菌个数 ≤个/ml |
0.01 |
0.1 |
|
铜 ≤μg/L |
0.2 |
1 |
|
锌 ≤μg/L |
0.2 |
1 |
|
镍 ≤μg/L |
0.1 |
1 |
|
钠 ≤μg/L |
0.5 |
2 |
|
钾 ≤μg/L |
0.5 |
2 |
|
氯 ≤μg/L |
1 |
1 |
|
硝酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
|
磷酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
|
硫酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
|
总有机碳 ≤μg/L |
20 |
100 |
中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准
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指标\级别 |
EW－Ⅰ |
EW－Ⅱ
|
EW－Ⅲ |
EW-Ⅳ |
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电阻率
MΩ，cm(25℃) |
18以上，（95％时间）不低于17 |
15，（95％时间）不低于13 |
12.0 |
0.5 |
|
全硅，最大值,μg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
|
＞1μm微粒数，最大值，个/mL |
0.1 |
5 |
10 |
500 |
|
细菌个数，最大值，个/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
|
铜，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
|
锌，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
|
镍，最大值，μg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
|
钠，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
|
钾，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
|
氯，最大值，μg/L |
1 |
1 |
10 |
1000 |
|
硝酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
磷酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
硫酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
总有机酸，最大值，μg/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
中国实验室用水国家标准
实验用三个等级净化水的技术要求(GB6682－1992)：
一级水：基本上不含有溶解或胶态离子杂质及有机物。它可用二级水经进一步处理而制得。
二级水：可含有微量的无机、有机或胶态杂质。
三级水：适用一般实验室实验工作。
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指
标
名
称 |
一
级 |
二
级 |
三
级 |
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pH值范围（25oC
) |
— |
— |
5.0-7.5 |
|
电导率 （25oC
)(μs/cm) ≤ |
0.1 |
1.0 |
5.0 |
|
可氧化物的限度试验 |
— |
符合 |
符合 |
|
吸光度(254nm,1cm
光程)
≤ |
0.001 |
0.01 |
— |
|
二氧化硅(mg/L)
≤ |
0.02 |
0.05 |
— |
|
